Keraaminen piikarbidipinnoite

Vetek puolijohde Keraaminen piikarbidipinnoiteon erittäin kovasta ja kulutusta kestävästä piikarbidimateriaalista (SiC) valmistettu korkealuokkainen suojapinnoite, joka tarjoaa erinomaisen kemiallisen korroosionkestävyyden ja korkeiden lämpötilojen stabiilisuuden. Nämä ominaisuudet ovat ratkaisevia puolijohteiden tuotannossa, joten piikarbidikeraamista pinnoitetta käytetään laajalti puolijohteiden valmistuslaitteiden avainkomponenteissa.

Vetek puolijohde Silicon Carbide Ceramic Coatingin erityinen rooli puolijohteiden tuotannossa onseuraavasti:

Paranna laitteiden kestävyyttä: Keraaminen piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen pintasuojan puolijohdevalmistuslaitteille erittäin suurella kovuudellaan ja kulutuskestävyytensä ansiosta. Erityisesti korkeissa lämpötiloissa, erittäin syövyttävissä prosessiympäristöissä, kuten kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja plasmaetsaus, piikarbidikeraaminen pinnoite voi tehokkaasti estää laitteen pinnan vaurioitumisen kemiallisen eroosion tai fysikaalisen kulumisen vuoksi, mikä pidentää merkittävästi laitteen käyttöikää. laitteita ja lyhentää toistuvasta vaihdosta ja huollosta aiheutuvia seisokkeja.

Paranna prosessin puhtautta: Puolijohteiden valmistusprosessissa mikä tahansa pieni kontaminaatio voi aiheuttaa tuotevirheitä. Piikarbidikeraamisen pinnoitteen kemiallisen inerttisyyden ansiosta se pysyy vakaana äärimmäisissä olosuhteissa, estää materiaalin irtoamasta hiukkasia tai epäpuhtauksia ja varmistaa ympäristön puhtauden prosessin aikana. Tämä on erityisen tärkeää valmistusvaiheissa, jotka vaativat suurta tarkkuutta ja suurta puhtautta, kuten PECVD ja ioni-istutus.

Optimoi lämmönhallinta: Korkean lämpötilan puolijohdekäsittelyssä, kuten nopeassa lämpökäsittelyssä (RTP) ja hapetusprosesseissa, piikarbidikeraamisen pinnoitteen korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen laitteen sisällä. Tämä auttaa vähentämään lämpötilan vaihteluiden aiheuttamaa lämpöjännitystä ja materiaalin muodonmuutoksia, mikä parantaa tuotteen valmistustarkkuutta ja yhtenäisyyttä.

Tukee monimutkaista prosessiympäristöä: Monimutkaista ilmakehän hallintaa vaativissa prosesseissa, kuten ICP-etsaus- ja PSS-etsausprosesseissa, piikarbidikeraamisen pinnoitteen lämmittimen stabiilius ja hapettumisenkestävyys takaavat laitteiston vakaan suorituskyvyn pitkällä aikavälillä, mikä vähentää materiaalin tai laitteiston hajoamisen riskiä. ympäristömuutosten aiheuttamat vahingot.

Vetek puolijohdekeskittyy korkean suorituskyvyn valmistukseen ja toimittamiseenKeraaminen piikarbidipinnoite, ja on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle.Toivomme vilpittömästi, että voimme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Fysikaaliset perusominaisuudetKeraaminen piikarbidipinnoite:

VeTek Semiconductor piikarbidikeraaminen pinnoiteliikkeet:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: