> Tuotteet > Piikarbidipinnoite > MOCVD-tekniikka

Uudet tuotteet

Kiina MOCVD-tekniikka Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductorilla on etua ja kokemusta MOCVD Technologyn varaosista.

MOCVD:tä, metalli-orgaanisen kemiallisen höyrypinnoituksen (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) koko nimi, voidaan kutsua myös metalli-orgaanisen höyryfaasin epitaksiksi. Organometalliset yhdisteet ovat metalli-hiilisidoksia sisältävien yhdisteiden luokka. Nämä yhdisteet sisältävät vähintään yhden kemiallisen sidoksen metallin ja hiiliatomin välillä. Metalli-orgaanisia yhdisteitä käytetään usein esiasteena ja ne voivat muodostaa ohuita kalvoja tai nanorakenteita substraatille erilaisilla kerrostustekniikoilla.

Metalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD-tekniikka) on yleinen epitaksiaalinen kasvutekniikka, MOCVD-tekniikkaa käytetään laajalti puolijohdelaserien ja ledien valmistuksessa. Erityisesti ledejä valmistettaessa MOCVD on avainteknologia galliumnitridin (GaN) ja siihen liittyvien materiaalien tuotannossa.

Epitaksia on kaksi päämuotoa: nestefaasiepitaksi (LPE) ja höyryfaasiepitaksi (VPE). Kaasufaasiepitaksi voidaan jakaa edelleen metalli-orgaaniseen kemialliseen höyrypinnoitukseen (MOCVD) ja molekyylisuihkuepitaksiin (MBE).

Ulkomaisia laitevalmistajia edustavat pääasiassa Aixtron ja Veeco. MOCVD-järjestelmä on yksi tärkeimmistä laitteista lasereiden, ledien, valosähköisten komponenttien, tehon, RF-laitteiden ja aurinkokennojen valmistuksessa.

Yrityksemme valmistamien MOCVD-teknologian varaosien pääominaisuudet:

1) Suuri tiheys ja täydellinen kapselointi: grafiittipohja kokonaisuudessaan on korkeassa lämpötilassa ja syövyttävässä työympäristössä, pinnan on oltava täysin kääritty ja pinnoitteen on oltava hyvä tiivistys, jotta se toimii hyvin.

2) Hyvä pinnan tasaisuus: Koska yksikiteiden kasvattamiseen käytetty grafiittipohja vaatii erittäin korkean pinnan tasaisuuden, pohjan alkuperäinen tasaisuus tulee säilyttää pinnoitteen valmistuksen jälkeen, eli pinnoitekerroksen on oltava tasainen.

3) Hyvä sidoslujuus: Vähennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittipohjan ja pinnoitemateriaalin välillä, mikä voi tehokkaasti parantaa näiden kahden välistä sidoslujuutta, ja pinnoitetta ei ole helppo murtaa korkean ja matalan lämpötilan lämmön jälkeen sykli.

4) Korkea lämmönjohtavuus: korkealaatuinen lastun kasvu vaatii grafiittipohjan tarjoamaan nopeaa ja tasaista lämpöä, joten pinnoitemateriaalilla tulisi olla korkea lämmönjohtavuus.

5) Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys: pinnoitteen tulee pystyä toimimaan vakaasti korkeassa lämpötilassa ja syövyttävässä työympäristössä.

Aseta 4 tuuman substraatti
Sinivihreä epitaksi LEDin kasvattamiseen
Sijaitsee reaktiokammiossa
Suora kosketus kiekkoon Aseta 4 tuuman substraatti
Käytetään UV-LED-epitaksiaalikalvon kasvattamiseen
Sijaitsee reaktiokammiossa
Suora kosketus kiekkoon Veeco K868/Veeco K700 kone
Valkoinen LED-epitaksi/sinivihreä LED-epitaksi Käytetty VEECO-laitteissa
MOCVD Epitaxia varten
SiC-pinnoite suskeptori Aixtron TS -laitteet
Syvä ultraviolettiepitaksi
2 tuuman alusta Veeco-laitteet
Punainen-keltainen LED-epitaksi
4 tuuman kiekkosubstraatti TaC-pinnoitettu suskeptori
(SiC Epi/UV LED-vastaanotin) SiC päällystetty suskeptori
(ALD/Si Epi/LED MOCVD-suskeptori)

View as

SiC Coating Coating -segmentit

Vetek Semiconductor on omistautunut CVD SiC -pinnoitteen ja CVD TaC -pinnoitteen kehittämiseen ja kaupallistamiseen. Esimerkkinä SiC Coating Coating Cover -segmenttimme läpikäyvät huolellisen käsittelyn, mikä johtaa tiiviiseen CVD SiC -pinnoitteeseen poikkeuksellisen tarkasti. Se kestää erinomaisesti korkeita lämpötiloja ja tarjoaa vankan suojan korroosiota vastaan. Otamme mielellämme tiedustelut vastaan.

Lue lisää Lähetä kysely

MOCVD hyväksyjä

Vetek Semiconductor keskittyy CVD SiC -pinnoitteen ja CVD TaC -pinnoitteen tutkimukseen ja kehittämiseen sekä teollistamiseen. Esimerkkinä MOCVD Susceptor -tuotteessa on erittäin tarkka, tiheä CVD SIC -pinnoite, korkea lämpötilakestävyys ja vahva korroosionkestävyys. Tiedustelut meille ovat tervetulleita.

Lue lisää Lähetä kysely

MOCVD epitaksiaalinen suskeptori 4" kiekolle

VeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja, joka on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuisia MOCVD Epitaxial Susceptor for 4" -kiekkoa. Rikkaalla alan kokemuksella ja ammattitaitoisella tiimillä pystymme toimittamaan asiantuntevia ja tehokkaita ratkaisuja asiakkaillemme.

Lue lisää Lähetä kysely

Semiconductor Susceptor Block SiC päällystetty

VeTek Semiconductorin Semiconductor-suskeptorilohko SiC-pinnoitettu on erittäin luotettava ja kestävä laite. Se on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja ja ankaria kemiallisia ympäristöjä säilyttäen samalla vakaan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän. Erinomaisten prosessiominaisuuksiensa ansiosta SiC Coated Semiconductor Susceptor Block -lohko vähentää vaihto- ja huoltotiheyttä, mikä parantaa tuotannon tehokkuutta. Odotamme innolla mahdollisuutta tehdä yhteistyötä kanssasi.

Lue lisää Lähetä kysely

SiC-pinnoitettu MOCVD-suskeptori

VeTek Semiconductorin SiC Coated MOCVD Susceptor on laite, jolla on erinomainen prosessi, kestävyys ja luotettavuus. Ne kestävät korkeita lämpötiloja ja kemiallisia ympäristöjä, säilyttävät vakaan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän, mikä vähentää vaihto- ja huoltotiheyttä ja parantaa tuotannon tehokkuutta. MOCVD-epitaksiaalinen suskeptorimme tunnetaan suuresta tiheydestä, erinomaisesta tasaisuudesta ja erinomaisesta lämmönhallinnasta, mikä tekee siitä suositellun laitteen vaativissa valmistusympäristöissä. Odotan innolla yhteistyötä kanssasi.

Lue lisää Lähetä kysely

Piipohjainen GaN-epitaksiaalinen suskeptori

VeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja, joka on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuista piipohjaista GaN-epitaksiaalista suskeptoria. Suskeptoripuolijohdetta käytetään VEECO K465i GaN MOCVD -järjestelmässä, korkea puhtaus, korkean lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, tervetuloa tiedustelemaan ja tekemään yhteistyötä kanssamme!

Lue lisää Lähetä kysely

<1 2 3 4 5 >

Ammattimaisena MOCVD-tekniikka-valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittyneitä ja kestäviä MOCVD-tekniikka Kiinassa valmistettuja tuotteita, voit jättää meille viestin.