Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti

VeTek-puolijohteisesta tantaalikarbidilla päällystetystä huokoisesta grafiitista on tullut piikarbidin (SiC) kide sen erittäin korkean lämpötilan kestävyyden (sulamispiste noin 3880 °C), erinomaisen lämpöstabiilisuuden, mekaanisen lujuuden ja kemiallisen inertiteettinsä ansiosta korkeissa lämpötiloissa. Korvaamaton materiaali kasvuprosessissa. Erityisesti sen huokoinen rakenne tarjoaa monia teknisiä etujakiteen kasvuprosessi. 

Seuraavassa on yksityiskohtainen analyysiTantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiittiydinrooli:

● Paranna kaasuvirtauksen tehokkuutta ja säädä prosessiparametreja tarkasti

Huokoisen grafiitin mikrohuokoinen rakenne voi edistää reaktiokaasujen (kuten karbidikaasun ja typen) tasaista jakautumista, mikä optimoi reaktioalueen ilmakehän. Tämä ominaisuus voi tehokkaasti välttää paikallisia kaasun kertymistä tai turbulenssiongelmia, varmistaa, että piikarbidikiteet ovat tasaisesti jännittyneet koko kasvuprosessin ajan, ja vikojen määrä vähenee huomattavasti. Samalla huokoinen rakenne mahdollistaa myös kaasun painegradienttien tarkan säätämisen, mikä optimoi kiteen kasvunopeudet ja parantaa tuotteen sakeutta.

●  Vähennä lämpöjännityksen kertymistä ja paranna kiteen eheyttä

Korkeissa lämpötiloissa huokoisen tantaalikarbidin (TaC) elastiset ominaisuudet vähentävät merkittävästi lämpötilaerojen aiheuttamia lämpöjännityspitoisuuksia. Tämä kyky on erityisen tärkeä kasvatettaessa piikarbidikiteitä, mikä vähentää termisen halkeaman muodostumisen riskiä ja parantaa siten kiderakenteen eheyttä ja prosessoinnin vakautta.

●  Optimoi lämmönjako ja paranna energian hyötysuhdetta

Tantaalikarbidipinnoite ei ainoastaan ​​anna huokoiselle grafiitille korkeampaa lämmönjohtavuutta, vaan sen huokoiset ominaisuudet voivat myös jakaa lämmön tasaisesti, mikä varmistaa erittäin tasaisen lämpötilan jakautumisen reaktioalueella. Tämä yhtenäinen lämmönhallinta on erittäin puhtaan piikarbidikiteen tuotannon ydinehto. Se voi myös parantaa merkittävästi lämmitystehokkuutta, vähentää energiankulutusta ja tehdä tuotantoprosessista taloudellisempaa ja tehokkaampaa.

●  Paranna korroosionkestävyyttä ja pidennä komponenttien käyttöikää

Kaasut ja sivutuotteet korkeissa lämpötiloissa (kuten vety- tai piikarbidihöyryfaasissa) voivat aiheuttaa voimakasta korroosiota materiaaleille. TaC Coating tarjoaa erinomaisen kemiallisen suojan huokoiselle grafiitille, mikä vähentää merkittävästi komponentin korroosionopeutta ja pidentää siten sen käyttöikää. Lisäksi pinnoite varmistaa huokoisen rakenteen pitkäaikaisen stabiilisuuden varmistaen, että kaasun kuljetusominaisuudet eivät muutu.

●  Estää tehokkaasti epäpuhtauksien diffuusion ja varmistaa kiteiden puhtauden

Päällystämätön grafiittimatriisi saattaa vapauttaa pieniä määriä epäpuhtauksia, ja TaC-pinnoite toimii eristysesteenä, joka estää näitä epäpuhtauksia diffundoitumasta piikarbidikiteisiin korkean lämpötilan ympäristössä. Tämä suojausvaikutus on kriittinen parannettaessa kiteiden puhtautta ja auttaessa täyttämään puolijohdeteollisuuden tiukat vaatimukset korkealaatuisille piikarbidimateriaalille.

VeTek-puolijohteiden tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti parantaa merkittävästi prosessin tehokkuutta ja kiteiden laatua optimoimalla kaasun virtausta, vähentämällä lämpöjännitystä, parantamalla lämpötasaisuutta, parantamalla korroosionkestävyyttä ja estämällä epäpuhtauksien diffuusiota piikarbidikiteiden kasvuprosessin aikana. Tämän materiaalin käyttö ei ainoastaan ​​takaa korkeaa tarkkuutta ja puhtautta tuotannossa, vaan myös vähentää huomattavasti käyttökustannuksia, mikä tekee siitä tärkeän pilarin nykyaikaisessa puolijohteiden valmistuksessa.

Vielä tärkeämpää on, että VeTeksemi on jo pitkään sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle ja tukee räätälöityjä tantaalikarbidilla päällystetyn huokoisen grafiitin tuotepalveluita. Odotamme vilpittömästi, että pääsemme pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Tantaalikarbidipinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

VeTek-puolijohdetantaalikarbidilla päällystetyn huokoisen grafiitin tuotantolaitokset