TaC-pinnoitteen ohjausrengas

VeTek Semiconductorin TaC Coating Guide Ring on luotu levittämällä tantaalikarbidipinnoite grafiittiosiin käyttämällä erittäin kehittynyttä tekniikkaa, jota kutsutaan kemialliseksi höyrypinnoitukseksi (CVD). Tämä menetelmä on vakiintunut ja tarjoaa poikkeukselliset pinnoitusominaisuudet. Hyödyntämällä TaC Coating Guide Ringiä grafiittikomponenttien käyttöikää voidaan pidentää merkittävästi, grafiittiepäpuhtauksien liikettä voidaan estää ja SiC- ja AIN-yksikidelaatua voidaan ylläpitää luotettavasti. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

VeTek Semiconductor on ammattimainen kiinalainen TaC-pinnoitusohjainrengas, TaC-pinnoitusupokas, siemenpidikkeen valmistaja ja toimittaja.

TaC-pinnoite Upokas, siemenpidike ja TaC-pinnoitteen ohjausrengas SiC- ja AIN-yksikideuunissa kasvatettiin PVT-menetelmällä.

Kun piikarbidin valmistukseen käytetään fysikaalista höyrynsiirtomenetelmää (PVT), siemenkide on suhteellisen alhaisen lämpötilan alueella ja piikarbidin raaka-aine suhteellisen korkean lämpötilan alueella (yli 2400 ℃). Raaka-aineen hajoaminen tuottaa SiXCy:tä (pääasiassa Si, SiC₂, Si2C jne.). Höyryfaasimateriaali kuljetetaan korkean lämpötilan alueelta matalan lämpötilan alueella olevaan siemenkiteeseen ja ydintyy ja kasvaa. Yksittäisen kiteen muodostamiseksi. Tässä prosessissa käytettyjen lämpökenttämateriaalien, kuten upokkaan, virtauksen ohjausrenkaan, siemenkiteiden pidikkeen, tulee kestää korkeita lämpötiloja, eivätkä ne saastuta piikarbidin raaka-aineita ja piikarbidin yksittäiskiteitä. Vastaavasti AlN-yksikiteiden kasvussa olevien lämmityselementtien on kestettävä Al-höyryä, N2-korroosiota ja niillä on oltava korkea eutektinen lämpötila (ja AlN) kiteen valmistusajan lyhentämiseksi.

Havaittiin, että TaC-pinnoitetuilla grafiittilämpökenttämateriaaleilla valmistetut SiC ja AlN olivat puhtaampia, niissä ei ollut lähes lainkaan hiiltä (happi, typpi) ja muita epäpuhtauksia, vähemmän reunavirheitä, pienempi resistiivisyys kullakin alueella ja mikrohuokostiheys ja syövytyskuopan tiheys olivat väheni merkittävästi (KOH-etsauksen jälkeen), ja kiteen laatu parani huomattavasti. Lisäksi TaC-upokkaan painonpudotusnopeus on lähes nolla, ulkonäkö on tuhoamaton, voidaan kierrättää (käyttöikä jopa 200 tuntia), voi parantaa tällaisen yksikidevalmisteen kestävyyttä ja tehokkuutta.

TaC Coating Guide Ringin tuoteparametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)