TaC-pinnoitettu grafiittisuskeptori

VeTek Semiconductorin TaC Coated Graphite Susceptor käyttää kemiallista höyrypinnoitusmenetelmää (CVD) tantaalikarbidipinnoitteen valmistukseen grafiittiosien pinnalle. Tämä prosessi on kypsin ja sillä on parhaat pinnoitusominaisuudet. TaC Coated Graphite Susceptor voi pidentää grafiittikomponenttien käyttöikää, estää grafiittiepäpuhtauksien kulkeutumista ja varmistaa epitaksin laadun. VeTek Semiconductor odottaa kyselyäsi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Olet tervetullut tulemaan tehtaallemme VeTek Semiconductorille ostamaan viimeisimmät myydyt, edulliset ja korkealaatuiset TaC Coated Graphite Susceptor. Odotamme innolla yhteistyötä kanssasi.

Tantaalikarbidikeraamisen materiaalin sulamispiste jopa 3880 ℃, on korkea sulamispiste ja yhdisteen hyvä kemiallinen stabiilisuus, sen korkean lämpötilan ympäristö voi silti säilyttää vakaan suorituskyvyn, lisäksi sillä on myös korkea lämpötilan kestävyys, kemiallinen korroosionkestävyys, hyvä kemikaali ja mekaaninen yhteensopivuus hiilimateriaalien ja muiden ominaisuuksien kanssa, mikä tekee siitä ihanteellisen grafiittisubstraatin suojaavan pinnoitemateriaalin. Tantaalikarbidipinnoite voi tehokkaasti suojata grafiittikomponentteja kuuman ammoniakin, vedyn ja piihöyryn ja sulan metallin vaikutukselta ankarissa käyttöympäristöissä, pidentää merkittävästi grafiittikomponenttien käyttöikää ja estää epäpuhtauksien kulkeutumista grafiitissa, varmistaa epitaksin ja kiteen kasvun laadun. Sitä käytetään pääasiassa märkäkeraamiprosessissa.

Kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) on kypsin ja optimaalinen valmistusmenetelmä tantaalikarbidipinnoitteelle grafiitin pinnalla.

CVD TaC -pinnoitusmenetelmä TaC-pinnoitetulle grafiittisuskeptorille:

Päällystysprosessissa käytetään TaCl5:tä ja propeenia hiilen lähteenä ja vastaavasti tantaalilähteenä ja argonia kantokaasuna tantaalipentakloridihöyryn tuomiseksi reaktiokammioon korkean lämpötilan kaasutuksen jälkeen. Tavoitelämpötilan ja -paineen alaisena esiastemateriaalin höyry adsorboituu grafiittiosan pintaan ja tapahtuu sarja monimutkaisia kemiallisia reaktioita, kuten hajoamista ja hiililähteen ja tantaalilähteen yhdistelmää. Samaan aikaan mukana on myös joukko pintareaktioita, kuten esiasteen diffuusio ja sivutuotteiden desorptio. Lopuksi grafiittiosan pintaan muodostuu tiivis suojakerros, joka suojaa grafiittiosaa pysymästä vakaana äärimmäisissä ympäristöolosuhteissa. Grafiittimateriaalien käyttöskenaariot laajenevat merkittävästi.

TaC Coated Graphite Susceptorin tuoteparametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)