VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
CVD SiC -pinnoiterengas on yksi puolikuun osien tärkeistä osista. Yhdessä muiden osien kanssa se muodostaa piikarbidin epitaksiaalisen kasvureaktiokammion. VeTek Semiconductor on ammattimainen CVD SiC -pinnoiterenkaiden valmistaja ja toimittaja. Asiakkaan suunnitteluvaatimusten mukaan voimme tarjota vastaavan CVD SiC -pinnoiterenkaan kilpailukykyisimmällä hinnalla. VeTek Semiconductor odottaa innolla tulevansa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on CVD SiC Coated Barrel Susceptorin johtava valmistaja ja innovaattori Kiinassa. CVD SiC Coated Barrel Susceptorillamme on erinomaisten tuoteominaisuuksiensa ansiosta keskeinen rooli puolijohdemateriaalien epitaksiaalisen kasvun edistämisessä kiekoilla. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava MOCVD SiC -pinnoitussuskeptorien valmistaja ja toimittaja Kiinassa, joka on keskittynyt piikarbidipinnoitetuotteiden tutkimukseen ja kehitykseen ja tuotantoon useiden vuosien ajan. MOCVD SiC -pinnoitussuskeptoreillamme on erinomainen korkean lämpötilan sietokyky, hyvä lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja niillä on keskeinen rooli pii- tai piikarbidikiekkojen (SiC) tukemisessa ja lämmittämisessä ja tasaisessa kaasulaskeutumisessa. Tervetuloa kuulemaan lisää.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena puolijohteiden valmistajana ja toimittajana VeTek Semiconductor voi tarjota erilaisia grafiittikomponentteja, joita tarvitaan piikarbidin epitaksiaalisiin kasvujärjestelmiin. Nämä SiC-pinnoitetut puolikuun grafiittiosat on suunniteltu epitaksiaalisen reaktorin kaasun sisääntulo-osaan ja niillä on tärkeä rooli puolijohteiden valmistusprosessin optimoinnissa. VeTek Semiconductor pyrkii aina tarjoamaan asiakkaille parasta laatua olevia tuotteita kilpailukykyisin hinnoin. VeTek Semiconductor odottaa saavansa tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor Hot Zone -grafiittilämmitin on suunniteltu kestämään äärimmäisiä olosuhteita korkean lämpötilan uuneissa ja säilyttämään erinomaisen suorituskyvyn ja vakauden monimutkaisissa prosesseissa, kuten kemiallinen höyrypinnoitus (CVD), epitaksiaalinen kasvu ja korkean lämpötilan hehkutus. VeTekSemi keskittyy aina korkealaatuisten Hot Zone -grafiittilämmittimien tuottamiseen ja tarjoamiseen varmistaakseen parhaan kustannustehokkuuden asiakkaille. Kutsumme sinut vilpittömästi ottamaan meihin yhteyttä.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava VEECO MOCVD -lämmitintuotteiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa. MOCVD-lämmittimellä on erinomainen kemiallinen puhtaus, lämpöstabiilisuus ja korroosionkestävyys. Se on välttämätön tuote metallin orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessissa (MOCVD). Tervetuloa lisätiedusteluihin.
Lue lisääLähetä kysely