VeTek Semiconductor on innovatiivinen kumppanisi puolijohdekäsittelyn alalla. Laajan puolijohdelaatuisten piikarbidikeramiikkamateriaalien, komponenttien valmistusominaisuuksien ja sovellussuunnittelupalveluiden valikoimamme avulla voimme auttaa sinua selviytymään merkittävistä haasteista. Teknistä piikarbidikeramiikkaa käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa niiden poikkeuksellisen materiaalin suorituskyvyn vuoksi. VeTek Semiconductorin erittäin puhdasta piikarbidikeramiikkaa käytetään usein koko puolijohteiden valmistus- ja käsittelysyklin aikana.
VeTek Semiconductor tarjoaa suunniteltuja keraamisia komponentteja, jotka on erityisesti suunniteltu erädiffuusio- ja LPCVD-vaatimuksiin, mukaan lukien:
• Ohjauslevyt ja pidikkeet
• Injektorit
• Vuoraukset ja prosessiputket
• Piikarbidista ulokkeet
• Vohveliveneet ja jalustat
SiC ulokemela SiC prosessiputket Piikarbidin prosessiputki SiC pystysuora kiekkovene SiC vaakasuora kiekkovene SiC horizontals quare kiekkovene SiC LPCVD kiekkovene SiC vaakalevyinen vene SiC pyöreä kiekkovene
Minimoi kontaminaatio ja suunnittelematon huolto erittäin puhtailla komponenteilla, jotka on suunniteltu plasmaetsauskäsittelyn vaativiin vaatimuksiin, mukaan lukien:
Tarkennusrenkaat
Suuttimet
Kilvet
Suihkupäät
Ikkunat / kannet
Muut mukautetut komponentit
VeTek Semiconductor tarjoaa edistyneitä materiaalikomponentteja, jotka on räätälöity korkean lämpötilan lämpökäsittelysovelluksiin puolijohdeteollisuudessa. Nämä sovellukset sisältävät RTP-, Epi-prosessit, diffuusion, hapetuksen ja hehkutuksen. Tekninen keramiikkamme on suunniteltu kestämään lämpöiskuja, mikä takaa luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn. VeTek Semiconductorin komponenttien avulla puolijohdevalmistajat voivat saavuttaa tehokkaan ja laadukkaan lämpökäsittelyn, mikä edistää puolijohteiden tuotannon yleistä menestystä.
• Hajottimet
• Eristimet
• Suskeptorit
• Muut mukautetut lämpökomponentit
Uudelleenkiteytetyn piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Käyttölämpötila (°C) | 1600°C (hapella), 1700°C (pelkistävä ympäristö) |
SiC / SiC sisältö | > 99,96 % |
Si / Ilmainen Si-sisältö | < 0,1 % |
Bulkkitiheys | 2,60-2,70 g/cm3 |
Näennäinen huokoisuus | < 16 % |
Puristusvoima | > 600 MPa |
Kylmätaivutuslujuus | 80-90 MPa (20 °C) |
Kuumataivutuslujuus | 90-100 MPa (1400°C) |
Lämpölaajeneminen @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Lämmönjohtavuus @1200°C | 23 W/m•K |
Elastinen moduuli | 240 GPa |
Lämpöiskun kestävyys | Erittäin hyvä |
VeTek Semiconductorin erittäin puhdas piikarbidikiekkovene on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidimateriaalista, jolla on erinomainen lämpöstabiilisuus, mekaaninen lujuus ja kemiallinen kestävyys. Erittäin puhdasta piikarbidikiekkovenettä käytetään kuumavyöhykkeissä puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti korkeissa lämpötiloissa, ja sillä on tärkeä rooli kiekkojen suojaamisessa, materiaalien kuljetuksessa ja vakaiden prosessien ylläpitämisessä. VeTek Semiconductor jatkaa kovasti töitä innovoidakseen ja parantaakseen erittäin puhtaan piikarbidikiekkoveneen suorituskykyä vastatakseen puolijohteiden valmistuksen muuttuviin tarpeisiin. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja, joka on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuista Ultra Pure Siliconductor -jauhetta kiteen kasvuun. Sen puhtausaste on jopa 99,999 painoprosenttia ja typen, boorin, alumiinin ja muiden epäpuhtauksien erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus on suunniteltu erityisesti parantamaan erittäin puhtaan piikarbidin puolieristysominaisuuksia. Tervetuloa tiedustelemaan ja tekemään yhteistyötä kanssamme!
Lue lisääLähetä kysely