VeTek Semiconductor on innovatiivinen kumppanisi puolijohdekäsittelyn alalla. Laajan puolijohdelaatuisten piikarbidikeramiikkamateriaalien, komponenttien valmistusominaisuuksien ja sovellussuunnittelupalveluiden valikoimamme avulla voimme auttaa sinua selviytymään merkittävistä haasteista. Teknistä piikarbidikeramiikkaa käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa niiden poikkeuksellisen materiaalin suorituskyvyn vuoksi. VeTek Semiconductorin erittäin puhdasta piikarbidikeramiikkaa käytetään usein koko puolijohteiden valmistus- ja käsittelysyklin aikana.
VeTek Semiconductor tarjoaa suunniteltuja keraamisia komponentteja, jotka on erityisesti suunniteltu erädiffuusio- ja LPCVD-vaatimuksiin, mukaan lukien:
• Ohjauslevyt ja pidikkeet
• Injektorit
• Vuoraukset ja prosessiputket
• Piikarbidista ulokkeet
• Vohveliveneet ja jalustat
SiC ulokemela SiC prosessiputket Piikarbidin prosessiputki SiC pystysuora kiekkovene SiC vaakasuora kiekkovene SiC horizontals quare kiekkovene SiC LPCVD kiekkovene SiC vaakalevyinen vene SiC pyöreä kiekkovene
Minimoi kontaminaatio ja suunnittelematon huolto erittäin puhtailla komponenteilla, jotka on suunniteltu plasmaetsauskäsittelyn vaativiin vaatimuksiin, mukaan lukien:
Tarkennusrenkaat
Suuttimet
Kilvet
Suihkupäät
Ikkunat / kannet
Muut mukautetut komponentit
VeTek Semiconductor tarjoaa edistyneitä materiaalikomponentteja, jotka on räätälöity korkean lämpötilan lämpökäsittelysovelluksiin puolijohdeteollisuudessa. Nämä sovellukset sisältävät RTP-, Epi-prosessit, diffuusion, hapetuksen ja hehkutuksen. Tekninen keramiikkamme on suunniteltu kestämään lämpöiskuja, mikä takaa luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn. VeTek Semiconductorin komponenttien avulla puolijohdevalmistajat voivat saavuttaa tehokkaan ja laadukkaan lämpökäsittelyn, mikä edistää puolijohteiden tuotannon yleistä menestystä.
• Hajottimet
• Eristimet
• Suskeptorit
• Muut mukautetut lämpökomponentit
Uudelleenkiteytetyn piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Käyttölämpötila (°C) | 1600°C (hapella), 1700°C (pelkistävä ympäristö) |
SiC / SiC sisältö | > 99,96 % |
Si / Ilmainen Si-sisältö | < 0,1 % |
Bulkkitiheys | 2,60-2,70 g/cm3 |
Näennäinen huokoisuus | < 16 % |
Puristusvoima | > 600 MPa |
Kylmätaivutuslujuus | 80-90 MPa (20 °C) |
Kuumataivutuslujuus | 90-100 MPa (1400°C) |
Lämpölaajeneminen @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Lämmönjohtavuus @1200°C | 23 W/m•K |
Elastinen moduuli | 240 GPa |
Lämpöiskun kestävyys | Erittäin hyvä |
VeTek Semiconductor tarjoaa korkean suorituskyvyn SiC-prosessiputkia puolijohteiden valmistukseen. SiC-prosessiputkemme ovat erinomaisia hapetus- ja diffuusioprosesseissa. Erinomaisella laadulla ja ammattitaidolla nämä putket tarjoavat korkean lämpötilan vakauden ja lämmönjohtavuuden tehokkaaseen puolijohteiden käsittelyyn. Tarjoamme kilpailukykyisen hinnoittelun ja pyrimme olemaan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin SiC Cantilever Paddle on erittäin suorituskykyinen tuote. SiC-ulokelapaamme käytetään yleensä lämpökäsittelyuuneissa piikiekkojen käsittelyyn ja tukemiseen, kemialliseen höyrypinnoitukseen (CVD) ja muihin prosesseihin puolijohteiden valmistusprosesseissa. SiC-materiaalin korkean lämpötilan stabiilius ja korkea lämmönjohtavuus takaavat korkean tehokkuuden ja luotettavuuden puolijohteiden käsittelyprosessissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja Kiinassa piikarbidikiekkoveneen vaakauuniin, jolla on vuosien kokemus T&K- ja tuotannosta, voi hallita laatua hyvin ja tarjota kilpailukykyisen hinnan. Voit olla varma, että ostat meiltä piikarbidikiekkoveneen vaakasuoraan uuniin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja Kiinassa piikarbidipinnoitetuille piikarbidikiekkoveneille, jolla on vuosien kokemus T&K- ja tuotannosta, pystyy hallitsemaan laatua hyvin ja tarjoamaan kilpailukykyisen hinnan. Tervetuloa käymään tehtaallamme ja keskustelemaan yhteistyöstä.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin piikarbidiulokelapa on tärkeä komponentti puolijohteiden valmistusprosessissa, ja se sopii erityisen hyvin diffuusiouuneihin tai LPCVD-uuneihin korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP. Silicon Carbide Cantilever Mela on huolellisesti suunniteltu ja valmistettu erinomaisella korkeiden lämpötilojen kestävyydellä ja mekaanisella lujuudella, ja se voi turvallisesti ja luotettavasti kuljettaa kiekkoja prosessiputkeen ankarissa prosessiolosuhteissa erilaisissa korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier ovat tärkeitä komponentteja puolijohteiden käsittelyssä, ja ne on suunniteltu pitämään ja kuljettamaan turvallisesti herkkiä piikiekkoja, ja niillä on keskeinen rooli kaikissa valmistuksen vaiheissa. VeTek Semiconductorin korkean puhtaan piikarbidikiekkotelineet on suunniteltu ja valmistettu huolellisesti takaamaan erinomaisen suorituskyvyn ja luotettavuuden. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely