Kiina SiC Single Crystal Growth Prosessin varaosat Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductorin tuote, tantaalikarbidi (TaC) pinnoitetuotteet SiC Single Crystal Growth Process -prosessiin, vastaa piikarbidikiteiden (SiC) kasvurajapintaan liittyviin haasteisiin, erityisesti kiteen reunassa esiintyviin kattaviin vioihin. TaC-pinnoitteella pyrimme parantamaan kiteen kasvun laatua ja lisäämään kiteen keskipisteen tehollista pinta-alaa, mikä on ratkaisevan tärkeää nopean ja paksun kasvun saavuttamiseksi.

TaC-pinnoite on teknologinen ydinratkaisu korkealaatuisen piikarbidin yksikidekasvatusprosessin kasvattamiseen. Olemme kehittäneet menestyksekkäästi kemiallista höyrypinnoitusta (CVD) hyödyntävän TaC-pinnoitusteknologian, joka on saavuttanut kansainvälisesti edistyneen tason. TaC:lla on poikkeuksellisia ominaisuuksia, kuten korkea sulamispiste jopa 3880 °C, erinomainen mekaaninen lujuus, kovuus ja lämpöiskun kestävyys. Sillä on myös hyvä kemiallinen inertti ja lämpöstabiilisuus, kun se altistetaan korkeille lämpötiloille ja aineille, kuten ammoniakki, vety ja piipitoinen höyry.

VeTek Semiconductorin tantaalikarbidi (TaC) -pinnoite tarjoaa ratkaisun SiC Single Crystal Growth -prosessin reunaan liittyviin ongelmiin, mikä parantaa kasvuprosessin laatua ja tehokkuutta. Edistyneellä TaC-pinnoitusteknologiallamme pyrimme tukemaan kolmannen sukupolven puolijohdeteollisuuden kehitystä ja vähentämään riippuvuutta tuontiavainmateriaaleista.

PVT-menetelmä SiC Yksikidekasvatusprosessin varaosat:

TaC-pinnoitettu upokas, siemenpidike TaC-pinnoitteella, TaC-pinnoitteen ohjausrengas ovat tärkeitä osia SiC- ja AIN-yksikideuunissa PVT-menetelmällä.

Avainominaisuus:

-Kestävyys korkeissa lämpötiloissa

-Korkea puhtaus, ei saastuta piikarbidin raaka-aineita ja piikarbidin yksittäiskiteitä.

- Kestää Al-höyryä ja N2-korroosiota

-Korkea eutektinen lämpötila (AlN:n kanssa) kiteen valmistussyklin lyhentämiseksi.

-Kierrätettävä (200h asti), se parantaa tällaisten yksittäiskiteiden valmistuksen kestävyyttä ja tehokkuutta.

TaC-pinnoitteen ominaisuudet

Tac Coatingin tyypilliset fysikaaliset ominaisuudet

Tantaalikarbidilla päällystetty ohjausrengas TaC-pinnoitteen ohjausrengas TaC-pinnoitusrengas Tantaalikarbidilla päällystetty levy TaC-pinnoitettu pala TaC-pinnoiteputki