Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaiteissa, erillislaitteissa, optoelektronisissa laitteissa, tehoelektroniikkalaitteissa, aurinkokennoissa ja laajamittaisessa integroitujen piirien valmistuksessa. Niitä käytetään prosesseissa, mukaan lukien kiekkojen diffuusio, hapetus, hehkutus, seostus ja sintraus.
VeTek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut erittäin puhtaiden grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien valmistukseen hapetus- ja diffuusiouuneissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapinnoitustekniikan, kuten CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon jne., eturintamassa.
Korkean lämpötilan kesto (jopa 1600 ℃)
Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönkestävyys
Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys
Alhainen lämpölaajenemiskerroin
Korkea lujuus ja kovuus
Pitkä käyttöikä
Hapetus- ja diffuusiouuneissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosionkestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (SiC) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:
Vohveli vene
Piikarbidikiekkovene on piikiekkojen kuljettamiseen käytetty säiliö, joka kestää korkeita lämpötiloja eikä reagoi piikiekkojen kanssa.
Uunin putki
Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään piikiekkojen sijoittamiseen ja reaktioympäristön ohjaamiseen. Piikarbidiuuniputkilla on erinomainen korkean lämpötilan ja korroosionkestävyys.
Välilevy
Käytetään säätelemään ilmavirran ja lämpötilan jakautumista uunin sisällä
Lämpöparin suojaputki
Käytetään suojaamaan lämpötilan mittaustermopareja suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.
Ulokeinen mela
Piikarbidista valmistetut ulokesiivekkeet kestävät korkeita lämpötiloja ja korroosiota, ja niitä käytetään siirtämään piikiekkoja kuljettavia piiveneitä tai kvartsiveneitä diffuusiouunin putkiin.
Kaasun ruiskutin
Käytetään syöttämään reaktiokaasua uuniin, sen on kestettävä korkeita lämpötiloja ja korroosiota.
Veneen kuljettaja
Piikarbidikiekkojen venetelinettä käytetään piikiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen vakaus.
Uunin ovi
Uunin oven sisäpuolella voidaan käyttää myös piikarbidipinnoitteita tai -komponentteja.
Lämmityselementti
Piikarbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehoon ja voivat nopeasti nostaa lämpötilat yli 1000 ℃.
SiC Liner
Uunin putkien sisäseinän suojaamiseen käytettynä se voi auttaa vähentämään lämpöenergian hukkaa ja kestämään ankaria ympäristöjä, kuten korkeaa lämpötilaa ja korkeaa painetta.
VeTek Semiconductorin SiC Cantilever Paddle on erittäin suorituskykyinen tuote. SiC-ulokelapaamme käytetään yleensä lämpökäsittelyuuneissa piikiekkojen käsittelyyn ja tukemiseen, kemialliseen höyrypinnoitukseen (CVD) ja muihin prosesseihin puolijohteiden valmistusprosesseissa. SiC-materiaalin korkean lämpötilan stabiilius ja korkea lämmönjohtavuus takaavat korkean tehokkuuden ja luotettavuuden puolijohteiden käsittelyprosessissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja Kiinassa piikarbidikiekkoveneen vaakauuniin, jolla on vuosien kokemus T&K- ja tuotannosta, voi hallita laatua hyvin ja tarjota kilpailukykyisen hinnan. Voit olla varma, että ostat meiltä piikarbidikiekkoveneen vaakasuoraan uuniin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja ja toimittaja Kiinassa piikarbidipinnoitetuille piikarbidikiekkoveneille, jolla on vuosien kokemus T&K- ja tuotannosta, pystyy hallitsemaan laatua hyvin ja tarjoamaan kilpailukykyisen hinnan. Tervetuloa käymään tehtaallamme ja keskustelemaan yhteistyöstä.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin piikarbidiulokelapa on tärkeä komponentti puolijohteiden valmistusprosessissa, ja se sopii erityisen hyvin diffuusiouuneihin tai LPCVD-uuneihin korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP. Silicon Carbide Cantilever Mela on huolellisesti suunniteltu ja valmistettu erinomaisella korkeiden lämpötilojen kestävyydellä ja mekaanisella lujuudella, ja se voi turvallisesti ja luotettavasti kuljettaa kiekkoja prosessiputkeen ankarissa prosessiolosuhteissa erilaisissa korkean lämpötilan prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier ovat tärkeitä komponentteja puolijohteiden käsittelyssä, ja ne on suunniteltu pitämään ja kuljettamaan turvallisesti herkkiä piikiekkoja, ja niillä on keskeinen rooli kaikissa valmistuksen vaiheissa. VeTek Semiconductorin korkean puhtaan piikarbidikiekkotelineet on suunniteltu ja valmistettu huolellisesti takaamaan erinomaisen suorituskyvyn ja luotettavuuden. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin erittäin puhdas piikarbidikiekkovene on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidimateriaalista, jolla on erinomainen lämpöstabiilisuus, mekaaninen lujuus ja kemiallinen kestävyys. Erittäin puhdasta piikarbidikiekkovenettä käytetään kuumavyöhykkeissä puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti korkeissa lämpötiloissa, ja sillä on tärkeä rooli kiekkojen suojaamisessa, materiaalien kuljetuksessa ja vakaiden prosessien ylläpitämisessä. VeTek Semiconductor jatkaa kovasti töitä innovoidakseen ja parantaakseen erittäin puhtaan piikarbidikiekkoveneen suorituskykyä vastatakseen puolijohteiden valmistuksen muuttuviin tarpeisiin. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely