Koti > Tuotteet > Piikarbidikeramiikka > Hapetus- ja diffuusiouuni > Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline
Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline
  • Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen venetelineErittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline
  • Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen venetelineErittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline
  • Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen venetelineErittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline
  • Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen venetelineErittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline

Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline

VeTek Semiconductor tarjoaa räätälöidyn korkean puhtauden SiC-kiekkovenetelineen. Valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista, ja siinä on aukot, jotka pitävät kiekon paikallaan, estäen sitä liukumasta käsittelyn aikana. CVD SiC -pinnoite on myös saatavilla tarvittaessa. Ammattimaisena ja vahvana puolijohteiden valmistajana ja toimittajana VeTek Semiconductorin korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline on hintakilpailukykyinen ja korkea laatu. VeTek Semiconductor odottaa innolla olevansa pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

VeTekSemi Korkean puhtauden piikarbidikiekkojen veneteline on tärkeä laakerikomponentti, jota käytetään hehkutusuuneissa, diffuusiouuneissa ja muissa puolijohteiden valmistusprosessin laitteissa. Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline on yleensä valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidimateriaalista ja sisältää pääasiassa seuraavat osat:


Veneen tukirunko: kiinnikkeen kaltainen rakenne, jota käytetään erityisesti kantamiseenpiikiekkojatai muita puolijohdemateriaaleja.


Tukirakenne: Sen tukirakenteen ansiosta se kestää raskaita kuormia korkeissa lämpötiloissa, eikä se muotoile tai vaurioidu korkean lämpötilan käsittelyssä.


silicon carbide material

materiaali piikarbidi


Fysikaaliset ominaisuudetUudelleenkiteytetty piikarbidi


Omaisuus
Tyypillinen arvo
Käyttölämpötila (°C)
1600°C (hapella), 1700°C (pelkistävä ympäristö)
SiC-sisältö
> 99,96 %
Ilmainen Si-sisältö
< 0,1 %
Bulkkitiheys
2,60-2,70 g/cm3
Näennäinen huokoisuus
< 16 %
Puristusvoima
> 600 MPa
Kylmätaivutuslujuus
80-90 MPa (20 °C)
Kuumataivutuslujuus
90-100 MPa (1400°C)
Lämpölaajeneminen @1500°C
4,70*10-6/°C
Lämmönjohtavuus @1200°C
23 W/m•K
Kimmomoduuli
Kimmomoduuli 240 GPa
Lämpöiskun kestävyys
Erittäin hyvä

Jos tuotantoprosessin vaatimukset ovat korkeammat,CVD SiC pinnoitevoidaan suorittaa korkean puhtauden SiC-kiekkojen venetelineessä, jotta puhtaus saavuttaa yli 99,99995%, parantaa entisestään sen korkean lämpötilan kestävyyttä.


CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet:


Omaisuus
Tyypillinen arvo
Kristallirakenne
FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
Tiheys
3,21 g/cm³
Kovuus
2500 Vickers-kovuus (500g kuorma)
viljan koko
2-10 μm
Kemiallinen puhtaus
99,99995 %
Lämpökapasiteetti
640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila
2700℃
Taivutusvoima
415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus
430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtavuus
300 W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Korkean lämpötilan käsittelyn aikana korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline mahdollistaa piikiekon tasaisen kuumenemisen paikallisen ylikuumenemisen välttämiseksi. Lisäksi piikarbidimateriaalin korkean lämpötilan kestävyys mahdollistaa sen rakenteellisen vakauden säilyttämisen 1200°C:n tai jopa korkeammissa lämpötiloissa.working principle of High purity SiC wafer boat carrier


Diffuusio- tai hehkutusprosessin aikana ulokemela ja korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline toimivat yhdessä. Theulokemelatyöntää hitaasti piikiekkoja kuljettavan High Purity SiC -kiekkojen venetelineen uunikammioon ja pysäyttää sen määrättyyn paikkaan käsittelyä varten. 


Korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline säilyttää kosketuksen piikiekkoon ja on kiinnitetty tiettyyn asentoon lämpökäsittelyprosessin aikana, kun taas ulokelapa auttaa pitämään koko rakenteen oikeassa asennossa ja varmistaen samalla lämpötilan tasaisuuden.


Korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline ja ulokemela toimivat yhdessä varmistaakseen korkean lämpötilan prosessin tarkkuuden ja vakauden.


VeTek puolijohdetarjoaa sinulle räätälöidyn korkean puhtauden SiC-kiekkovenetelineen tarpeidesi mukaan. Odotan kyselyäsi.


VeTek puolijohdeKorkean puhtauden piikarbidikiekkojen venekuljetusliikkeet:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Erittäin puhdas piikarbidikiekkojen veneteline, Kiina, valmistaja, toimittaja, tehdas, räätälöity, osta, edistynyt, kestävä, valmistettu Kiinassa
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept