Aixtron MOCVD -reseptori

Ammattimaisena Aixtron MOCVD Susceptorin valmistajana ja toimittajana Kiinassa Vetek Semiconductorin Aixtron MOCVD Susceptoria käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksen ohutkalvopinnoitusprosessissa, erityisesti MOCVD-prosessissa. Vetek Semiconductor keskittyy korkean suorituskyvyn Aixtron MOCVD Susceptor -tuotteiden valmistukseen ja toimittamiseen. Tervetuloa tiedusteluusi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Susceptors, jonka on tuottanutVetek puolijohdeon valmistettu grafiittisubstraatista ja piikarbidista (SiC) pinnoitemateriaalista. Piikarbidimateriaalin korkeamman kulutuskestävyyden, korroosionkestävyyden ja erittäin korkean kovuuden ansiosta se soveltuu erityisen hyvin käytettäväksi ankarissa prosessiympäristöissä. Siksi Vetek Semiconductorin valmistamia suskeptoreita voidaan käyttää suoraan korkean lämpötilan MOCVD-prosesseissa ilman lisäpintakäsittelyä.

Suskeptorit ovat avainkomponentteja puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti ohutkalvopinnoitusprosessien MOCVD-laitteissa. PäärooliAixtron SiC vastaanotinMOCVD-prosessissa on kuljettaa puolijohdekiekkoja, varmistaa ohuiden kalvojen tasainen ja laadukas kerrostaminen tarjoamalla tasainen lämmön jakautuminen ja reaktioympäristö, jolloin saavutetaan korkealaatuinen ohutkalvotuotanto.

Aixtron MOCVD -reseptorikäytetään yleensä tukemaan ja kiinnittämään puolijohdekiekkojen pohjaa kiekon vakauden varmistamiseksi pinnoitusprosessin aikana. Samaan aikaan Aixtron MOCVD Susceptorin pintapinnoite on valmistettu piikarbidista (SiC), joka on erittäin lämpöä johtava materiaali. SiC-pinnoite varmistaa tasaisen lämpötilan kiekon pinnalla ja tasainen kuumennus on välttämätöntä korkealaatuisten kalvojen saamiseksi.

Lisäksi,Aixtron MOCVD -reseptoriTuottamollamme on suurempi rooli reaktiivisten kaasujen virtauksen ja jakautumisen hallinnassa materiaalien optimoidun suunnittelun avulla. Vältä pyörrevirtoja ja lämpötilagradientteja tasaisen kalvon muodostumisen saavuttamiseksi.

Vielä tärkeämpää on, että MOCVD-prosessissa piikarbidin (SiC) pinnoitemateriaalilla on korroosionkestävyys, jotenVetek puolijohde'sAixtron MOCVD -reseptorikestää myös korkeita lämpötiloja ja syövyttäviä kaasuja.

Fysikaaliset perusominaisuudetSIC-PINNOITE: