Huokoinen SiC tyhjiöistukka

Ammattimaisena huokoisen piikarbidi-tyhjiöistukan valmistajana ja toimittajana Kiinassa Vetek Semiconductorin huokoista piikarbidi-tyhjiöistukkaa käytetään laajalti puolijohdevalmistuslaitteiden avainkomponenteissa, erityisesti CVD- ja PECVD-prosesseissa. Vetek Semiconductor on erikoistunut korkean suorituskyvyn huokoisen piikarbiditiivisteen valmistukseen ja toimittamiseen. Tervetuloa lisätiedusteluihin.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Vetek Semiconductor Porous SiC Vacuum Chuck koostuu pääasiassa piikarbidista (SiC), keraamisesta materiaalista, jolla on erinomainen suorituskyky. Huokoinen piikarbidi-tyhjiöistukka voi toimia kiekon tukena ja kiinnityksenä puolijohteiden käsittelyprosessissa. Tämä tuote voi varmistaa tiiviin sovituksen kiekon ja istukan välillä tarjoamalla tasaisen imun, välttäen tehokkaasti kiekon vääntymistä ja muodonmuutoksia, mikä varmistaa virtauksen tasaisuuden käsittelyn aikana. Lisäksi piikarbidin korkean lämpötilan kestävyys voi varmistaa istukan vakauden ja estää kiekon putoamisen lämpölaajenemisen vuoksi. Tervetuloa kuulemaan lisää.

Elektroniikan alalla Porous SiC Vacuum Chuckia voidaan käyttää puolijohdemateriaalina laserleikkaukseen, teholaitteiden, aurinkosähkömoduulien ja tehoelektroniikkakomponenttien valmistukseen. Sen korkea lämmönjohtavuus ja korkea lämpötilankesto tekevät siitä ihanteellisen materiaalin elektronisille laitteille. Optoelektroniikan alalla Porous SiC Vacuum Chuckista voidaan valmistaa optoelektronisia laitteita, kuten lasereita, LED-pakkausmateriaaleja ja aurinkokennoja. Sen erinomaiset optiset ominaisuudet ja korroosionkestävyys auttavat parantamaan laitteen suorituskykyä ja vakautta.

Vetek Semiconductor voi tarjota:

1. Puhtaus: SiC-alustan käsittelyn, kaivertamisen, puhdistuksen ja lopullisen toimituksen jälkeen sitä on karkaistava 1200 asteessa 1,5 tunnin ajan kaikkien epäpuhtauksien polttamiseksi ja pakattava sitten tyhjiöpusseihin.

2. Tuotteen tasaisuus: Ennen kiekon asettamista sen on oltava yli -60 kpa, kun se asetetaan laitteistolle, jotta teline ei pääse lentämään pois nopean lähetyksen aikana. Kiekon asettamisen jälkeen sen tulee olla yli -70 kpa. Jos tyhjäkäyntilämpötila on alle -50 kpa, kone hälyttää jatkuvasti eikä voi toimia. Siksi selän tasaisuus on erittäin tärkeää.

3. Kaasupolun suunnittelu: räätälöity asiakkaan vaatimusten mukaan.

3 asiakastestauksen vaihetta:

1. Hapetuskoe: ei happea (asiakas lämpenee nopeasti 900 asteeseen, joten tuote on hehkutettava 1100 asteessa).

2. Metallin jäännöstesti: Kuumenna nopeasti 1200 asteeseen, metallisia epäpuhtauksia ei vapaudu, joka saastuttaisi kiekon.

3. Tyhjiötesti: Paineero kiekon kanssa ja ilman on +2ka (imuvoima).