Huokoinen keraaminen tyhjiöistukka

Ammattimaisena huokoisen keraamisen tyhjiöistukkavalmistajana ja -toimittajana Kiinassa Vetek Semiconductorin huokoinen keraaminen tyhjiöistukka on valmistettu piikarbidikeraamisesta (SiC) materiaalista, jolla on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, kemiallinen stabiilisuus ja mekaaninen lujuus. Se on välttämätön ydinkomponentti puolijohteiden valmistusprosessissa. Tervetuloa lisätiedusteluihin.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Vetek Semiconductor on kiinalainen Porous Ceramic Vacuum Chuckin valmistaja, jota käytetään piikiekkojen tai muiden alustojen kiinnittämiseen ja pitämiseen tyhjiöadsorptiolla, jotta nämä materiaalit eivät liiku tai väänny käsittelyn aikana. Vetek Semiconducto voi tarjota erittäin puhtaita huokoisia keraamisia tyhjiöistukkatuotteita, joilla on korkea kustannustehokkuus. Tervetuloa tiedustelemaan.

Vetek Semiconductor tarjoaa sarjan erinomaisia Porous Ceramic Vacuum Chuck -tuotteita, jotka on erityisesti suunniteltu täyttämään nykyaikaisen puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset. Nämä kannattimet osoittavat erinomaista suorituskykyä puhtauden, tasaisuuden ja mukautettavan kaasupolun kokoonpanossa.

Ennennäkemätön puhtaus:

Epäpuhtauksien poisto: Jokainen huokoinen keraaminen tyhjiöistukka sintrataan 1200°C:ssa 1,5 tunnin ajan epäpuhtauksien poistamiseksi kokonaan ja pinnan puhtauden varmistamiseksi.

Tyhjiöpakkaus: Huokoinen keraaminen tyhjiöistukka on puhtaan tilan säilyttämiseksi tyhjiöpakattu estämään kontaminaatio varastoinnin ja kuljetuksen aikana.

Erinomainen tasaisuus:

Kiinteä kiekko-adsorptio: Huokoinen keraaminen tyhjiöistukka ylläpitää -60 kPa:n ja -70 kPa:n adsorptiovoimaa ennen kiekon asettamista ja sen jälkeen, mikä varmistaa, että kiekko on adsorboitu tiukasti ja estää sitä putoamasta irti nopean lähetyksen aikana.

Tarkkuustyöstö: Telineen takaosa on tarkkuuskoneistettu täysin tasaisen pinnan varmistamiseksi, mikä säilyttää vakaan tyhjiötiivisteen ja estää vuodot.

Räätälöity suunnittelu:

Asiakaslähtöinen: Vetek Semiconductor tekee tiivistä yhteistyötä asiakkaiden kanssa suunnitellakseen kaasupolkukokoonpanoja, jotka vastaavat heidän erityisiä prosessivaatimuksiaan tehokkuuden ja suorituskyvyn optimoimiseksi.

Tiukka laatutestaus:

Vetek suorittaa kattavat testit jokaiselle huokoisen piikarbidi-tyhjiöistukan kappaleelle varmistaakseen sen laadun:

Hapettumistesti: SiC-tyhjiöistukka kuumennetaan nopeasti 900 °C:seen hapettomassa ympäristössä todellisen hapetusprosessin simuloimiseksi. Tätä ennen kantoaine hehkutetaan 1100 °C:ssa optimaalisen suorituskyvyn varmistamiseksi.

Metallijäämien testi: Kontaminaation estämiseksi kantoaine kuumennetaan korkeaan 1200°C lämpötilaan sen havaitsemiseksi, onko metalliepäpuhtauksia saostunut.

Tyhjiötesti: Mittaamalla paine-ero huokoisen piikarbidi-tyhjiöistukan välillä kiekon kanssa ja ilman, sen tyhjiötiivistyskyky testataan tiukasti. Paine-eroa on säädettävä ±2 kPa:n tarkkuudella.