EPI-vastaanottaja

VeTek Semiconductorin EPI-suskeptori on suunniteltu vaativiin epitaksiaalisiin laitesovelluksiin. Sen erittäin puhdas piikarbidilla (SiC) päällystetty grafiittirakenne tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden yhtenäisen epitaksiaalisen kerroksen paksuuden ja kestävyyden varmistamiseksi sekä pitkäaikaisen kemiallisen kestävyyden. Odotamme innolla yhteistyötä kanssasi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

VeTek Semiconductor on ammattilainen Kiinan EPI-vastaanottimen, ALD-planetaarisen vastaanottimen, TaC-päällystetyn grafiittivastaanottimen valmistaja.

VeTek Semiconductorin EPI-suskeptori on tärkeä osa epitaksiaalista kasvua puolijohteiden valmistusprosessissa. Sen päätehtävä on tukea ja lämmittää kiekkoa niin, että laadukas epitaksiaalinen kerros voidaan kasvattaa tasaisesti kiekon pinnalle.

VeTek Semiconductorsin EPI-suskeptorit on yleensä valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista ja päällystetty piikarbidikerroksella (SiC). Tällä suunnittelulla on seuraavat keskeiset edut:

Korkean lämpötilan vakaus: EPI-suskeptori voi pysyä vakaana korkeassa lämpötilassa, mikä varmistaa epitaksiaalikerroksen tasaisen kasvun.

Korroosionkestävyys: SiC-pinnoitteella on erinomainen korroosionkestävyys ja se kestää kemiallisten kaasujen eroosiota, mikä pidentää alustan käyttöikää.

Lämmönjohtavuus: SiC-materiaalin korkea lämmönjohtavuus varmistaa kiekon tasaisen lämpötilan jakautumisen lämmityksen aikana, mikä parantaa epitaksiaalikerroksen laatua.

Lämpölaajenemiskertoimen sovitus: SiC:n lämpölaajenemiskerroin on samanlainen kuin grafiitin, jolloin vältetään lämpölaajenemisesta ja -kutistumisesta johtuva pinnoitteen irtoaminen.

Fysikaaliset perusominaisuudetEPI-vastaanottaja: