CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas

VeTek Semiconductor on kokenut useiden vuosien teknologisen kehityksen ja hallitsee CVD TaC -pinnoitteen johtavan prosessitekniikan. CVD TaC -pinnoitettu kolmiterälehtinen ohjausrengas on yksi VeTek Semiconductorin kypsimmistä CVD TaC -pinnoitetuotteista ja tärkeä komponentti SiC-kiteiden valmistuksessa PVT-menetelmällä. VeTek Semiconductorin avulla uskon, että piikarbidikidetuotantosi on sujuvampaa ja tehokkaampaa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Piikarbidin yksikidesubstraattimateriaali on eräänlainen kidemateriaali, joka kuuluu laajakaistaiseen puolijohdemateriaaliin. Sen etuna on korkea jännitevastus, korkean lämpötilan kestävyys, korkea taajuus, pieni häviö jne. Se on perusmateriaali suuritehoisten elektronisten laitteiden ja mikroaaltoradiotaajuuslaitteiden valmistukseen. Tällä hetkellä tärkeimmät menetelmät piikarbidikiteiden kasvattamiseksi ovat fyysinen höyrynkuljetus (PVT-menetelmä), korkean lämpötilan kemiallinen höyrypinnoitus (HTCVD-menetelmä), nestefaasimenetelmä jne.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

PVT-menetelmä on suhteellisen kypsä menetelmä, joka soveltuu paremmin teolliseen massatuotantoon. Asettamalla piikarbidin siemenkide upokkaan päälle ja asettamalla piikarbidijauhe raaka-aineena upokkaan pohjalle suljetussa ympäristössä, jossa on korkea lämpötila ja matala paine, piikarbidijauhe sublimoituu ja siirtyy ylöspäin läheisyyteen. siemenkiteen lämpötilagradientin ja konsentraatioeron vaikutuksesta ja uudelleenkiteytyy saavutettuaan ylikyllästyneen tilan, piikarbidin kidekoon ja spesifisen kiteen hallittavan kasvun tyyppi voidaan saavuttaa.

CVD TaC -pinnoitetun kolmen terälehden ohjausrenkaan päätehtävä on parantaa nestemekaniikkaa, ohjata kaasun virtausta ja auttaa kiteen kasvualuetta saavuttamaan tasainen ilmakehä. Se myös haihduttaa tehokkaasti lämpöä ja ylläpitää lämpötilagradienttia piikarbidikiteiden kasvun aikana, mikä optimoi SiC-kiteiden kasvuolosuhteet ja välttää epätasaisen lämpötilan jakautumisen aiheuttamat kidevirheet.

Erinomainen CVD TaC -pinnoitteen suorituskyky

● Erittäin korkea puhtaus: Estää epäpuhtauksien muodostumisen ja saastumisen.

● Korkean lämpötilan vakaus: Korkean lämpötilan vakaus yli 2500 °C mahdollistaa ultrakorkean lämpötilan käytön.

● Kemiallisen ympäristön sietokyky: Toleranssi H(2), NH(3), SiH(4) ja Si, tarjoaa suojan ankarissa kemiallisissa ympäristöissä.

● Pitkä käyttöikä ilman irtoamista: Vahva sidos grafiittirunkoon voi varmistaa pitkän elinkaaren ilman sisäpinnoitteen irtoamista.

● Lämpöiskun kestävyys: Lämpöshokin kestävyys nopeuttaa käyttösykliä.

●Tiukka mittatoleranssi: Varmistaa, että pinnoitteen peitto täyttää tiukat mittatoleranssit.

VeTek Semiconductorilla on ammattitaitoinen ja kypsä tekninen tukitiimi ja myyntitiimi, joka voi räätälöidä sinulle sopivimmat tuotteet ja ratkaisut. VeTek Semiconductor on aina sitoutunut tarjoamaan sinulle täydellisimmät ja kattavimmat palvelut ennakkomyynnistä jälkimyyntiin.

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
TaC-pinnoite Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
TaC-pinnoitteen kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)
Lämmönjohtavuus	9-22 (W/m·K)

VeTek Semiconductor CVD TaC -pinnoitettu kolmiterälehtinen ohjausrengastuotekaupat

SiC Graphite substrate CVD TaC coated three-petal guide ring test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

Hot Tags: CVD TaC päällystetty kolmen terälehden ohjausrengas, Kiina, valmistaja, toimittaja, tehdas, räätälöity, osta, edistynyt, kestävä, valmistettu Kiinassa

Tuotemerkki

Aiheeseen liittyvä luokka