Vohvelitelineen alusta

Voit olla varma, että ostat Wafer Carrier -alustan tehtaaltamme.

Vetek-puolijohde toimittaa pääasiassa CVD SiC -pinnoitettuja grafiittiosia, kuten kiekkojen alustan kolmannen sukupolven SiC-CVD-puolijohde-puolijohdelaitteita, ja on omistautunut tarjoamaan kehittyneitä ja kilpailukykyisiä tuotantolaitteita teollisuudelle. SiC-CVD-laitteita käytetään homogeenisen yksikiteisen ohutkalvon epitaksiaalikerroksen kasvattamiseen piikarbidisubstraatille, SiC-epitaksiaalista levyä käytetään pääasiassa teholaitteiden, kuten Schottky-diodin, IGBT:n, MOSFETin ja muiden elektronisten laitteiden valmistukseen.

Laitteisto yhdistää tiiviisti prosessin ja laitteet. SiC-CVD-laitteistolla on ilmeisiä etuja korkea tuotantokapasiteetti, 6/8 tuuman yhteensopivuus, kilpailukykyiset kustannukset, jatkuva automaattinen kasvun ohjaus useille uuneille, alhainen vikojen määrä, huoltomukavuus ja luotettavuus lämpötilakentän ohjauksen ja virtauskentän ohjauksen ansiosta. Yhdessä Vetek Semiconductorimme toimittaman piikarbidipäällysteisen kiekon alustan kanssa se voi parantaa laitteiden tuotantotehokkuutta, pidentää käyttöikää ja hallita kustannuksia.

Vetek-puolijohteiden alustalla on pääasiassa korkea puhtaus, hyvä grafiitin stabiilisuus, korkea prosessointitarkkuus, plus CVD SiC -pinnoite, korkean lämpötilan stabiilisuus: Piikarbidipinnoitteilla on erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilisuus ja ne suojaavat alustaa lämmöltä ja kemialliselta korroosiolta erittäin korkeissa lämpötiloissa. .

Kovuus ja kulutuskestävyys: piikarbidipinnoitteilla on yleensä korkea kovuus, mikä tarjoaa erinomaisen kulutuskestävyyden ja pidentää alustan käyttöikää.

Korroosionkestävyys: Piikarbidipinnoite on korroosionkestävä monille kemikaaleille ja voi suojata alustaa korroosiovaurioilta.

Pienempi kitkakerroin: piikarbidipinnoitteilla on yleensä alhainen kitkakerroin, mikä voi vähentää kitkahäviöitä ja parantaa komponenttien työtehoa.

Lämmönjohtavuus: Piikarbidipinnoitteella on yleensä hyvä lämmönjohtavuus, mikä voi auttaa substraattia hajottamaan lämpöä paremmin ja parantamaan komponenttien lämmönpoistovaikutusta.

Yleensä CVD-piikarbidipinnoite voi tarjota alustalle moninkertaisen suojan, pidentää sen käyttöikää ja parantaa sen suorituskykyä.

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet:

Tuotantoliikkeet:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: