MOCVD-suskeptori TaC-pinnoitteella

VeTek Semiconductor on kattava toimittaja, joka osallistuu TaC-pinnoitteiden ja SiC-pinnoiteosien tutkimukseen, kehitykseen, tuotantoon, suunnitteluun ja myyntiin. Asiantuntemuksemme perustuu huippuluokan MOCVD-suskeptorin valmistukseen TaC-pinnoitteella, jolla on tärkeä rooli LED-epitaksiprosessissa. Tervetuloa keskustelemaan kanssamme tiedusteluista ja lisätiedoista.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

VeTek Semiconductor on johtava kiinalainen valmistaja, toimittaja ja viejä, joka on erikoistunut MOCVD-suskeptoriin TaC-pinnoitteella. Olet tervetullut tulemaan tehtaallemme ostamaan uusimmat myydyt, edulliset ja laadukkaat MOCVD-suskeptorit TaC-pinnoitteella. Odotamme innolla yhteistyötä kanssasi.

LED-epitaksia kohtaa haasteita, kuten kiteen laadunvalvonta, materiaalien valinta ja sovitus, rakennesuunnittelu ja optimointi, prosessin hallinta ja johdonmukaisuus sekä valonpoistotehokkuus. Oikean epitaksikiekkojen kantajamateriaalin valinta on ratkaisevan tärkeää, ja sen päällystäminen tantaalikarbidi (TaC) -ohutkalvolla (TaC-pinnoite) tarjoaa lisäetuja.

Kun valitset epitaksikiekkojen kantomateriaalia, on otettava huomioon useita avaintekijöitä:

Lämpötilan sieto ja kemiallinen stabiilius: LED-epitaksiprosessit sisältävät korkeita lämpötiloja ja voivat sisältää kemikaalien käyttöä. Siksi on tarpeen valita materiaaleja, joilla on hyvä lämpötilansieto ja kemiallinen stabiilisuus, jotta voidaan varmistaa kantoaineen stabiilisuus korkeissa lämpötiloissa ja kemiallisissa ympäristöissä.

Pinnan tasaisuus ja kulutuskestävyys: Epitaksikiekon alustan pinnan tulee olla hyvä tasainen, jotta varmistetaan epitaksikiekon tasainen kosketus ja vakaa kasvu. Lisäksi kulutuskestävyys on tärkeä pintavaurioiden ja kulumisen estämiseksi.

Lämmönjohtavuus: Hyvän lämmönjohtavuuden omaavan materiaalin valitseminen auttaa poistamaan lämpöä tehokkaasti, ylläpitämään vakaan kasvulämpötilan epitaksikerrokselle ja parantamaan prosessin vakautta ja konsistenssia.

Tässä suhteessa epitaksikiekkojen alustan pinnoittaminen TaC:llä tarjoaa seuraavat edut:

Stabiilisuus korkeissa lämpötiloissa: TaC-pinnoitteella on erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilisuus, mikä mahdollistaa rakenteensa ja suorituskyvyn säilyttämisen korkeiden lämpötilojen epitaksiprosessien aikana ja tarjoaa erinomaisen lämpötilansietokyvyn.

Kemiallinen stabiilisuus: TaC-pinnoite kestää yleisten kemikaalien ja ilmakehän korroosiota, suojaa kantajaa kemialliselta hajoamiselta ja parantaa sen kestävyyttä.

Kovuus ja kulutuskestävyys: TaC-pinnoitteella on korkea kovuus ja kulutuskestävyys, mikä vahvistaa epitaksikiekon alustan pintaa, vähentää vaurioita ja kulumista ja pidentää sen käyttöikää.

Lämmönjohtavuus: TaC-pinnoite osoittaa hyvää lämmönjohtavuutta, auttaa lämmön haihtumista, ylläpitää vakaata kasvulämpötilaa epitaksikerrokselle ja parantaa prosessin vakautta ja konsistenssia.

Siksi TaC-pinnoitteella varustetun epitaksikiekkojen alustan valitseminen auttaa vastaamaan LED-epitaksian haasteisiin ja täyttää korkeiden lämpötilojen ja kemiallisten ympäristöjen vaatimukset. Tämä pinnoite tarjoaa etuja, kuten stabiilisuuden korkeissa lämpötiloissa, kemiallisen stabiilisuuden, kovuuden ja kulutuksenkestävyyden sekä lämmönjohtavuuden, mikä osaltaan parantaa epitaksikiekkoalustan suorituskykyä, käyttöikää ja tuotantotehokkuutta.

TaC-pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)