Tantaalikarbiditeknologian läpimurto, piikarbidin epitaksiaalinen saastuminen väheni 75 %?

Saksalainen tutkimuslaitos Fraunhofer IISB on äskettäin tehnyt läpimurron tutkimus- ja kehitystyössä.tantaalikarbidipinnoitustekniikkaja kehitti ruiskupinnoitusratkaisun, joka on joustavampi ja ympäristöystävällisempi kuin CVD-pinnoitusratkaisu, ja se on kaupallistettu.

Ja kotimainen vetek-puolijohde on myös tehnyt läpimurtoja tällä alalla, katso lisätietoja alta.

Fraunhofer IISB:

Uuden TaC-pinnoitusteknologian kehittäminen

5. maaliskuuta tiedotusvälineiden mukaan "Yhdistetty puolijohde", Fraunhofer IISB on kehittänyt uudentantaalikarbidi (TaC) pinnoitustekniikka- Taccotta. Teknologialisenssi on siirtynyt Nippon Kornmeyer Carbon Groupille (NKCG) ja NKCG on alkanut toimittaa TaC-pinnoitettuja grafiittiosia asiakkailleen.

Perinteinen TaC-pinnoitteiden valmistusmenetelmä teollisuudessa on kemiallinen höyrypinnoitus (CVD), jolla on haittoja, kuten korkeat valmistuskustannukset ja pitkät toimitusajat. Lisäksi CVD-menetelmä on myös altis TaC:n halkeilulle komponenttien toistuvan kuumennuksen ja jäähdytyksen aikana. Nämä halkeamat paljastavat alla olevan grafiitin, joka hajoaa voimakkaasti ajan myötä ja on vaihdettava.

Taccottan innovaatio on, että se käyttää vesipohjaista ruiskupinnoitusmenetelmää, jota seuraa lämpötilakäsittely, jolloin muodostuu TaC-pinnoite, jolla on korkea mekaaninen stabiilisuus ja säädettävä paksuus.grafiittisubstraatti. Pinnoitteen paksuutta voidaan säätää 20 mikronista 200 mikroniin sopimaan erilaisiin käyttötarpeisiin.

Fraunhofer IISB:n kehittämä TaC-prosessitekniikka voi säätää vaadittuja pinnoitteen ominaisuuksia, kuten paksuutta, kuten alla on esitetty alueella 35 μm - 110 μm

Erityisesti Taccotta spraypinnoitteella on myös seuraavat keskeiset ominaisuudet ja edut:

● Ympäristöystävällisempi: Vesipohjaisella spraypinnoitteella tämä menetelmä on ympäristöystävällisempi ja helppo teollistaa;

● Joustavuus: Taccotta-tekniikka voi mukautua erikokoisiin ja -geometrisiin komponentteihin, mikä mahdollistaa osittaisen pinnoituksen ja komponenttien kunnostamisen, mikä ei ole mahdollista CVD:ssä.

● Vähentynyt tantaalisaaste: Taccotta-pinnoitettuja grafiittikomponentteja käytetään piikarbidin epitaksiaalisessa valmistuksessa, ja tantaalipäästöt vähenevät 75 % nykyiseen verrattuna.CVD-pinnoitteet.

● Kulutuskestävyys: Naarmuuntumistestit osoittavat, että pinnoitteen paksuuden lisääminen voi parantaa kulutuksenkestävyyttä merkittävästi.

Scratch testi

On raportoitu, että NKCG, yhteisyritys, joka keskittyy korkean suorituskyvyn grafiittimateriaalien ja niihin liittyvien tuotteiden toimittamiseen, on edistänyt teknologian kaupallistamista. NKCG osallistuu myös Taccotta-teknologian kehittämiseen vielä pitkään. Yritys on alkanut toimittaa asiakkailleen Taccotta-teknologiaan perustuvia grafiittikomponentteja.

Vetek Semiconductor edistää TaC:n lokalisointia

Vuoden 2023 alussa vetek Semiconductor toi markkinoille uuden sukupolvenSiC-kiteiden kasvulämpökentän materiaali -huokoinen tantaalikarbidi.

Raporttien mukaan vetek puolijohde on käynnistänyt läpimurron kehityksessähuokoinen tantaalikarbidisuuri huokoisuus riippumattoman teknologian tutkimuksen ja kehityksen avulla. Sen huokoisuus voi olla jopa 75 %, mikä saavuttaa kansainvälisen johtajuuden.