Mikä on tantaalikarbidipinnoite?

Tantaalikarbidin (TaC) keraamisen materiaalin sulamispiste on jopa 3880 ℃ ja se on yhdiste, jolla on korkea sulamispiste ja hyvä kemiallinen stabiilisuus. Se voi ylläpitää vakaata suorituskykyä korkeissa lämpötiloissa. Lisäksi sillä on myös korkean lämpötilan kestävyys, kemiallinen korroosionkestävyys ja hyvä kemiallinen ja mekaaninen yhteensopivuus hiilimateriaalien kanssa, mikä tekee siitä ihanteellisen grafiittisubstraatin suojaavan pinnoitemateriaalin. 

Tantaalikarbidipinnoite voi tehokkaasti suojata grafiittikomponentteja kuuman ammoniakin, vedyn, piihöyryn ja sulan metallin vaikutuksilta ankarissa käyttöympäristöissä, mikä pidentää merkittävästi grafiittikomponenttien käyttöikää ja estää epäpuhtauksien kulkeutumista grafiitissa, mikä varmistaa grafiitin laadun.epitaksiaalinenjakiteen kasvua.

Kuva 1. Yleiset tantaalikarbidilla päällystetyt komponentit

Kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) on kypsin ja optimaalinen menetelmä TaC-pinnoitteiden valmistamiseksi grafiittipinnoille.

Käyttämällä TaCl5:tä ja propeenia vastaavasti hiilen ja tantaalin lähteinä ja argonia kantokaasuna, korkean lämpötilan höyrystynyt TaCl5-höyry johdetaan reaktiokammioon. Esiastemateriaalin höyry adsorboituu tavoitelämpötilassa ja -paineessa grafiitin pintaan ja käy läpi useita monimutkaisia ​​kemiallisia reaktioita, kuten hiili- ja tantaalilähteiden hajoamista ja yhdistämistä, sekä sarjan pintareaktioita, kuten grafiitin diffuusiota ja desorptiota. esiasteen sivutuotteet. Lopuksi grafiitin pinnalle muodostuu tiivis suojakerros, joka suojaa grafiittia vakaalta olemassaololta äärimmäisissä ympäristöolosuhteissa ja laajentaa merkittävästi grafiittimateriaalien käyttöskenaarioita.

Kuva 2.Kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) periaate

VeTek puolijohdetarjoaa pääasiassa tantaalikarbidituotteita: TaC-ohjainrengas, TaC-päällystetty kolme terälehtirengasta, TaC-pinnoitusupokas, TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti on laajalti käytetty piikarbidikiteiden kasvatusprosessissa; Huokoinen grafiitti TaC-päällysteellä, TaC-päällystetty ohjausrengas, TaC-päällystetty grafiittikiekkojen kantoaine, TaC-pinnoitussuskeptorit, planeettasuskeptorit, TaC-päällystetyt satelliittisuskeptorit, ja näitä tantaalikarbidipinnoitetuotteita käytetään laajaltiSiC epitaksiprosessijaSiC Single Crystal -kasvuprosessi.

Kuva 3.VeTek Semiconductorin suosituimmat tantaalikarbidipinnoitetuotteet