Ammattimaisena ALD Fused Quartz Jalusta -tuotteiden valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Jalusta on erityisesti suunniteltu käytettäväksi atomikerrospinnoituksessa (ALD), matalapaineisessa kemiallisessa höyrypinnoituksessa (LPCVD) sekä diffuusiokiekkoprosessissa. ohuiden kalvojen tasainen kerrostuminen kiekkojen pinnoille. Tervetuloa lisätiedusteluihin.
VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz -jalustalla on keskeinen rooli puolijohteiden valmistusprosessissa tukirakenteenakvartsivene, jota käytetään pitämäänvohveli. Fused Quartz Jalusta auttaa saavuttamaan tasaisen kalvon muodostumisen ylläpitämällä vakaata lämpötilaa, mikä vaikuttaa suoraan puolijohdelaitteiden suorituskykyyn ja luotettavuuteen. Lisäksi kvartsijalusta varmistaa tasaisen lämmön ja valon jakautumisen prosessikammiossa, mikä parantaa pinnoitusprosessin yleistä laatua.
ALD-sulatetun kvartsijalustamateriaalin edut
Korkean lämpötilan kestävyys: Sulatun kvartsijalustan pehmenemispiste on jopa noin 1730 °C, ja se kestää 1100 °C - 1250 °C korkean lämpötilan käytön pitkään, ja se voidaan altistaa äärimmäisille lämpötileille jopa 1450 °C lyhyeksi ajaksi.
Erinomainen korroosionkestävyys: Sulattu kvartsi on kemiallisesti erittäin inertti lähes kaikille hapoille paitsi fluorivetyhapolle. Sen haponkestävyys on 30 kertaa korkeampi kuin keramiikka ja 150 kertaa parempi kuin ruostumaton teräs. Sulatettu kvartsi on kemiallisesti vertaansa vailla korkeissa lämpötiloissa, joten se on ihanteellinen materiaali monimutkaisiin kemiallisiin prosesseihin.
Lämpöstabiilisuus: Fused Quartz -jalustamateriaalin keskeinen ominaisuus on sen erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin. Tämä tarkoittaa, että se pystyy helposti käsittelemään dramaattisia lämpötilanvaihteluita halkeilematta. Esimerkiksi sulatettu piidioksidikvartsi voidaan nopeasti lämmittää 1100 °C:seen ja upottaa suoraan kylmään veteen ilman vaurioita, mikä on tärkeä ominaisuus korkean jännityksen valmistusolosuhteissa.
Tiukka valmistusprosessi: Sulattujen piidioksidijalkojen tuotantoprosessi noudattaa tiukasti korkeita laatustandardeja. Tuotantoprosessissa käytetään kuumamuovaus- ja hitsausprosesseja, jotka yleensä suoritetaan luokan 10 000 puhdastilaympäristössä. Sen jälkeen sulatettu kvartsilasijalusta puhdistetaan perusteellisesti erittäin puhtaalla vedellä (18 MΩ) tuotteen puhtauden ja optimaalisen suorituskyvyn varmistamiseksi. Jokainen valmis tuote tarkastetaan tarkasti, puhdistetaan ja pakataan vähintään 1 000 luokan puhdastilaan, jotta se täyttää puolijohdeteollisuuden korkeat standardit.
Erittäin puhdasta läpinäkymätöntä piidioksidikvartsimateriaalia
VeTeksemi ALD Fused Quartz Jalusta käyttää erittäin puhdasta läpinäkymätöntä kvartsimateriaalia lämmön ja valon tehokkaaseen eristämiseen. Sen erinomaiset lämpösuoja- ja valosuojaominaisuudet mahdollistavat sen tasaisen lämpötilan jakautumisen prosessikammiossa varmistaen samalla ohuenkalvopinnoituskiekon pinnalla.
Sovelluskentät
Sulatettuja kvartsijalustoja käytetään laajasti monilla puolijohdeteollisuuden aloilla niiden erinomaisen suorituskyvyn ansiosta. Vuonnaatomikerrospinnoitusprosessi (ALD)., se tukee kalvon kasvun tarkkaa hallintaa ja varmistaa puolijohdelaitteiden etenemisen. Vuonnamatalapaineinen kemiallinen höyrypinnoitusprosessi (LPCVD)., erittäin puhtaan kvartsijalustan lämpöstabiilisuus ja valonsuojauskyky takaavat ohuiden kalvojen tasaisen kerrostumisen, mikä parantaa laitteen suorituskykyä ja tuottoa.
Lisäksi diffuusiokiekkoprosessissa Fused Quartz Jalustan korkean lämpötilan kestävyys ja kemiallinen korroosionkestävyys takaavat puolijohdemateriaalien seostusprosessin luotettavuuden ja johdonmukaisuuden. Nämä keskeiset prosessit määrittävät puolijohdelaitteiden sähköisen suorituskyvyn, ja laadukkaat sulatettu kvartsimateriaalit ovat välttämättömiä näiden prosessien parhaiden tulosten saavuttamisessa.
VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Jalustaliikkeet: